세척 스테이션이 오븐처럼 작동하는 것을 막으세요
반도체 세척 공정에서 일반적인 적외선 램프를 사용해본 적이 있다면, 그 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 캐비닛을 열면 마치 미리 예열된 오븐을 연 것과 같습니다. 내벽의 온도가 너무 높아서 작업자들이 화상을 입을 수도 있습니다.
대부분의 램프는 열을 사방으로 방출하기 때문에 에너지가 낭비되고, 장비가 거대한 라디에이터처럼 작동하게 됩니다. 우리는 이 문제를 해결할 더 나은 방법을 찾았습니다. 바로 방향성 적외선 기술입니다.
열은 도대체 어디로 가는 걸까요?
일반적인 램프는 열을 360도로 방출합니다. 하지만 세척 공정에서는 벽보다는 웨이퍼에 집중되는 열이 중요합니다. 우리는 특수한 반사체와 코팅된 발광체를 사용하여 열을 정확한 위치로 집중시킵니다. 이렇게 하면 기기의 온도를 낮출 수 있습니다. 게다가, 기계가 과열되는 것을 막기 위해 큰 크기의 냉각 팬이나 두꺼운 단열재를 사용할 필요도 없습니다.
습기 문제 해결
세척 스테이션은 매우 습합니다. 그 습기는 전자 부품에 치명적입니다. 습기로 인해 연결부가 손상되거나 석영관이 깨질 수 있습니다. 이를 막기 위해 우리는 내구성이 뛰어난 방수 씰과 강화된 엔드캡을 사용합니다.
심지어 아주 작은 양의 수증기라도 필라멘트 챔버에 들어가면 램프는 고장 납니다. 그래서 세척 공정에서 지속적으로 습기에 노출되어도 고장 나지 않는 씰이 필요합니다.
단점과 그 해결책
물론, 이 방법에는 단점이 있습니다. 열을 좁은 범위에 집중시키면 해당 지점의 열 밀도가 급격히 상승합니다. 벽은 안전하지만, 작업물은 훨씬 더 큰 열応력을 받게 됩니다. 그냥 그대로 두어서는 안 됩니다. PID 컨트롤러를 조정하여 목표 온도를 넘지 않도록 해야 합니다.
만약 너무 높은 와트수를 사용한다면, 기판이 손상될 수 있습니다. 제 조언은 고정밀 온도 센서를 함께 사용하는 것입니다. 이 방법만이 공정을 안정적으로 유지하고 부품을 보호할 수 있는 유일한 방법입니다.