열 낭비를 막으세요: 왜 골드 코팅된 반사체가 웨이퍼 제조 공정에서 중요한지
웨이퍼 제조 공장에서 에너지를 낭비하는 것은 결국 시간을 낭비하는 것과 같습니다. 웨이퍼를 처리하는 동안 발생하는 적외선 에너지의 절반이 기계의 격벽 속으로 사라진다는 사실을 알게 되면 정말 당황스럽습니다. 이는 분명한 낭비입니다.
그래서 우리는 골드 코팅된 반사체를 사용합니다. 그렇게 하면 열이 밖으로 빠져나가는 대신 다시 웨이퍼 위로 돌아옵니다.
골드의 특성
대부분의 사람들은 알루미늄으로 된 반사체를 사용하지만, 깊은 부분까지 에너지를 전달하기에는 알루미늄은 부적합합니다. 반면 골드는 적외선의 98% 이상을 반사해냅니다. 석영 커버나 기계의 격벽에 얇은 골드 층을 입힘으로써 에너지를 집중시킬 수 있습니다. 그 결과, 더 높은 에너지 밀도를 얻을 수 있으며, 전력 소모도 줄어듭니다. 이는 일석이조입니다.
하드웨어의 적절한 설계
가장 중요한 것은 빛의 초점을 맞추는 것입니다. 이는 모두 램프의 구조에 달려 있습니다. 우리는 높은 에너지 밀도를 구현하기 위해 이러한 램프를 설계했습니다. 그래야 웨이퍼 전체에 균일한 열이 분포됩니다. 이상한 차가운 부분이 생기지 않습니다.
하지만 주의할 점이 있습니다. 골드는 오염을 싫어합니다. 반사체에 지문이나 작은 기름 얼룩이 있으면 그 효과가 사라지고 웨이퍼에 차가운 부분이 생길 수 있습니다. 따라서 주변 환경을 깨끗하게 유지해야 합니다. 그렇지 않으면 시간만 낭비하게 됩니다.
자신의 장비에 맞게 활용하기
우리는 이 램프들을 기존의 IR 배열을 대체할 수 있도록 설계했습니다. 기존의 컨트롤러에 그대로 연결할 수 있습니다.
하지만 주의할 점이 있습니다. 열 분포가 변할 수 있습니다. 골드가 에너지를 너무 강하게 집중시키기 때문입니다. 웨이퍼가 정확한 초점 위치에 있지 않으면 특정 부분이 과열될 수 있습니다. 그러므로 Z축의 높이를 조절하여 웨이퍼가 손상되지 않도록 해야 합니다. 이는 타협점입니다. 에너지 효율은 크게 향상되지만, 위치 조절의 여유는 줄어듭니다.