제조 공정에서 “유령 입자”를 막는 방법
클래스 100급의 청정실을 깨끗하게 유지하기 위해서는 단순히 공기 필터만 교체하는 것으로는 부족합니다. 반도체 가공 분야에 종사해보신 분이라면 잘 아시겠지만, 진짜 문제는 바로 가열 요소 자체입니다.
일반적인 적외선 램프들은 문제가 많습니다. 원치 않는 순간에 가스나 미세한 오염물질을 방출하기 때문입니다. 우리는 고순도 합성 석영과 금으로 된 반사 코팅을 결합함으로써 이 문제를 해결했습니다.
실제 작동 원리는 다음과 같습니다.
우리는 석영관의 뒷면에 금 층을 코팅합니다. 이는 단순히 보기 좋게 하기 위한 것이 아닙니다. 그 금 층은 열광학적 거울처럼 작용하여 적외선을 웨이퍼 쪽으로 반사시킵니다. 그 결과, 중요한 부분에서는 열 밀도가 훨씬 높아지고, 램프의 끝부분은 더 시원하게 유지됩니다.
그리고 석영에 대해서 말하자면, 우리는 고순도 석영만을 사용합니다. 고온 환경에서 금속성 불순물이 스며나오는 것을 막기 위해 우리는 품질에 매우 신경을 씁니다. 이렇게 하면 “유령 입자”가 완벽한 실리콘 웨이퍼를 망치는 것을 막을 수 있습니다.
설치 시 주의할 점
이러한 램프들은 정밀한 도구이지만, 그에 따른 열도 매우 강력합니다. 금 코팅이 모든 에너지를 한 방향으로 전달하기 때문에, 램프의 온도를 잘 관리해야 합니다. 만약 냉각 시스템이 그러한 높은 열을 감당할 수 없다면, 램프가 손상될 수 있습니다. 따라서 냉각 시스템이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다.
왜 이런 설비가 필요한가?
저가형 램프들은 종종 접착제나 저질 금속을 사용합니다. 진공이나 초청정 환경에서는 이러한 재료들이 쉽게 파손되거나 오염물질을 방출합니다. 이는 큰 문제가 됩니다.
우리의 금 코팅된 램프들은 이러한 문제들을 완전히 해결해줍니다. 안정적이고 깨끗한 열원을 얻을 수 있으며, 생산 라인에도 아무런 영향을 주지 않습니다. 300mm 웨이퍼에 조금이라도 먼지가 묻는 것을 원하지 않는 엔지니어들에게는 훨씬 간단하고 안전한 방법입니다.