와트를 낭비하지 마세요: 금 도금된 트윈 튜브가 실제로 효과적인 이유
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트가 중요합니다. 일반적인 석영 램프를 사용한다면, 그건 에너지를 낭비하는 것과 같습니다. 이러한 램프는 열을 사방으로 방출하기 때문에, 사용된 전력의 상당 부분이 오븐의 벽을 따뜻하게 하는 데만 쓰이고, 실제로 웨이퍼를 가열하는 데는 거의 쓰이지 않습니다.
이는 분명한 낭비입니다. 하지만 우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾아냈습니다.
금의 마법
우리는 램프의 뒷면에 얇은 금 층을 입혔습니다. 처음에는 복잡해 보일 수 있지만, 사실은 물리학적 원리에 기반한 것입니다. 금은 알루미늄이나 연마된 강철보다 적외선을 훨씬 더 잘 반사합니다.
이를 열거울이라고 생각해 보세요. 열이 공중으로 사라지는 대신, 금 층에 부딪혀 180도 회전하여 다시 웨이퍼 쪽으로 돌아옵니다. 그 결과 열 흐름이 크게 증가합니다. 게다가 전원 공급 장치에서 더 많은 전류를 끌어오지 않아도 됩니다.
더 많은 성능, 더 작은 공간
또한 트윈 튜브 구조도 있습니다. 여기서 목표는 더 작은 공간에 더 많은 가열 요소를 넣는 것이었습니다. 필라멘트의 표면적을 두 배로 늘림으로써, 더 큰 와트수를 얻으면서도 기계의 크기는 그대로 유지할 수 있습니다. 이로 인해 웨이퍼 표면의 온도를 더 정확하게 제어할 수 있습니다.
단점도 있습니다
정밀도를 위해서는 비용이 듭니다. 금 도금 처리는 효율성을 높여주지만, 램프의 작동 방식을 변화시킵니다. 필라멘트 부분의 온도가 훨씬 높아집니다. 따라서 냉각 팬과 히트 싱크를 반드시 점검해야 합니다. 공기 흐름이 약하다면 문제가 생길 수 있습니다. 커넥터가 손상되거나 마운팅 브래킷이 변형될 수도 있습니다. 반드시 냉각 시스템이 집중된 열을 감당할 수 있도록 해야 합니다.
사용 방법
이 제품들은 기존의 IR 배열을 대체할 수 있도록 설계되었으므로, 기계 전체를 다시 조립할 필요가 없습니다. 산업용 커넥터를 사용하여 고부하 상황에서도 문제가 발생하지 않도록 했습니다.
단지 PID 컨트롤러에 연결하기만 하면 됩니다. 그러면 반도체 제조 과정에서 필요한 안정적이고 정밀한 온도 조절이 가능해집니다.