왜 UHP 적외선 경화 방식이 무연 칩 제조에 적합한지
반도체를 제조할 때 가장 원하지 않는 것은, 미세한 이물질로 인해 전체 제품이 망가지는 것입니다. 그건 정말 악몽과 같습니다. 그래서 우리는 초고순도(UHP) 적외선 램프를 사용하는 것입니다.
화학용제나 연소 가스를 사용하지 않기 때문에, 이 램프들은 그냥 효과적으로 작동합니다. “무연” 및 “친환경” 기준을 충족시키기에도 매우 적합합니다.
열이 실제로 어떻게 전달되는가
대부분의 사람들은 공기를 가열하여 열을 전달하는 방식을 생각합니다. 하지만 UHP 램프는 다릅니다. 이 램프는 단파 적외선을 사용하여 기판에 직접 열을 전달합니다.
마치 추운 날에 햇볕이 피부에 닿는 것과 같습니다. 공기는 여전히 차가울 수 있지만, 열은 즉시 느껴집니다.
공기를 이용하지 않고 광자를 통해 에너지를 전달하기 때문에, 웨이퍼가 오염될 위험이 훨씬 줄어듭니다. 게다가 열이 발생하는 속도도 매우 빠릅니다. 따라서 많은 전력을 절약할 수 있습니다.
재료에 대한 세부 사항
우리는 일반적인 유리를 사용하지 않습니다. 그러한 유리는 반도체 제조 과정에서 강한 압력을 받아 파손되거나 기체가 빠져나올 수 있습니다. 대신 우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다.
필라멘트의 크기도 완벽하게 조절됩니다. 스펙트럼 출력이 적절한 시점에 경화제를 활성화시켜 웨이퍼가 손상되는 것을 방지합니다.
또한, 파장을 조절하기 위해 특수 코팅도 추가됩니다. 이것이 바로 비결입니다. 이 코팅 덕분에 열이 포토레지스트 층에 잘 스며들면서도 실리콘 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있습니다. 다만, 램프의 최대 발광 파장이 사용하는 화학물질과 일치해야 합니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
이러한 고출력 램프는 엄청난 양의 열을 방출합니다. 그러므로 전원 공급 장치와 냉각 시스템에 상당한 부담이 가해집니다. 만약 냉각 성능이 부족하다면, 램프의 수명도 기대만큼 오래 가지 못할 것입니다. 고밀도 배열로 설치하기 전에 반드시 공기 흐름을 확인해보세요.
좋은 소식은, 이 램프들은 기존의 구식 가열 요소를 대체할 수 있다는 것입니다. 그렇게 하면 가스를 사용하는 시스템의 탄소 배출량을 줄일 수 있으며, 작업 공간도 더 깨끗해집니다. 또한 작업 속도도 빨라집니다.