와이퍼 건조 램프 300mm

300mm 웨이퍼 처리 과정에서는 건조기가 단순히 편의적인 장비가 아닙니다. 이건 웨이퍼가 공장을 떠나기 전 마지막 열처리 단계입니다. 포토레지스트를 가열할 때 약간의 온도 불균일성이 생기거나, 노화된 램프에서 입자가 발생하면 반복 가능한 리소그래피 공정이 실패로 이...