니콘 스테퍼 램프 교체

리소그래피 작업장에서는, Nikon 스테퍼 램프가 단순한 소모품이 아니라 넘을 수 없는 선이다. 램프 출력이 변동하면, 소프트 베이크와 하드 베이크 온도가 일정하지 않게 되고, 포토레지스트 프로파일이 흐트러지며, CD 균일성이 불안정해진다. 추가 램프가 필요한 것이...