LPCVD 퍼니스 가열 요소

Fab 작업 현장에서 퍼니스 열 변동은 단순히 디스플레이에 표시된 숫자가 아니다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 치수 변화와 도핑 프로파일 이상으로 나타난다. 한 개의 핫존만 어긋나도 포토레지스트 베이크 편차와 필름 스트레스 문제로 수율 손실을 추적해야 하며, 이 현상은 동일한...