캐논 리소그래피 히터 전구

Role 리소그래피 작업 현장에서는 상황이 어떻게 돌아가는지 잘 알고 있을 것이다. 소프트 베이크에서 온도가 0.5도만 변해도 노광 허용 범위가 달라지고, 이어서 하드 베이크 단계에서는 라인에 이물질이 쌓이기 시작한다. 초점을 맞추고, 노광량을 조정해도 가장자리 위치...