RTP 시스템용 할로겐 램프

공장 현장에서는 온도 변동이 결코 무시할 수 있는 문제가 아닙니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하거나 하드 베이크할 때 5°C만큼의 온도 변동이 생겨도 선폭 제어에 문제가 생길 수 있습니다. 또한 RTP 과정에서 온도가 균일하지 않으면 접합부의 특성이 망가집니다. 우...