MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 센서 웨이퍼를 더 효과적으로 건조하는 방법 만약 여러분이 MEMS 센서 웨이퍼를 다룬 적이 있다면, 그 과정이 얼마나 어려운지 잘 알 것입니다. 물기를 신속하게 제거해야 하지만, 물자국이 남거나 열應력으로 인해 웨이퍼가 손상되는 것은 용납될 수 없습니다. 오...