100등급 청정실에서 입자 문제로 고민할 필요는 없습니다. 100등급(ISO 5) 환경을 운영하고 있다면, 입자가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 히팅 요소에서 나오는 작은 조각들만으로도 실리콘 웨이퍼나 의료용 장치들이 모두 버려지게 됩니다....

Role 리소그래피 작업 현장에서는 상황이 어떻게 돌아가는지 잘 알고 있을 것이다. 소프트 베이크에서 온도가 0.5도만 변해도 노광 허용 범위가 달라지고, 이어서 하드 베이크 단계에서는 라인에 이물질이 쌓이기 시작한다. 초점을 맞추고, 노광량을 조정해도 가장자리 위치...