Role 공장 현장에서 포토레지스트 베이크의 반복성은 기본 요건이다. 소프트 베이크나 하드 베이크 중 2°C의 온도 편차는 치수 오차 예산을 빠르게 잠식하며, 이는 곧 수율 저하를 의미한다. 웨이퍼가 포토레지스트와 접촉하는 위치에서 열장을 일정하게 유지하기 위해 공장...

현장에서는 시계가 멈추지 않는다. 리소그래피 트랙은 계속 가동되고, 코팅/베이크 모듈은 사이클을 반복하며, 열 예산은 엄격한 제약 조건이다—예외는 없다. 히터가 드리프트하기 시작하면 소프트 베이크와 하드 베이크 온도가 목표에서 벗어난다. CD 균일성이 흐트러지고, 불...