100등급 청정실에서 입자 문제로 고민할 필요는 없습니다.
100등급(ISO 5) 환경을 운영하고 있다면, 입자가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 히팅 요소에서 나오는 작은 조각들만으로도 실리콘 웨이퍼나 의료용 장치들이 모두 버려지게 됩니다.
일반적인 코일이나 저항선들은 그러한 열을 견딜 수 없어서 가스가 빠져나오거나 조각들이 떨어져 나옵니다. 이는 계속해서 문제를 일으키는 원인이 됩니다.
우리는 다른 방법을 사용합니다. 고순도의 석영 적외선 램프와 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 그래서 조각이 생기지 않고, 먼지도 생기지 않습니다. 따라서 걱정할 필요가 없습니다.
왜 금일까요?
대부분의 경우 알루미늄 반사체가 사용되지만, 알루미늄은 산화됩니다. 시간이 지나면 그 산화물들이 미세한 먼지가 되어 작업물 위에 떨어집니다. 하지만 금은 그렇지 않습니다. 금은 항상 깨끗한 상태를 유지합니다. 게다가 금은 적외선을 약 98%의 효율로 반사합니다. 그래서 열이 원하는 곳, 즉 부품에 집중되고, 기계의 프레임이나 방 전체가 따뜻해지는 것을 막습니다.
제작 품질
우리는 균열이 생기지 않는 내구성이 뛰어난 융합 석영을 사용합니다. 또한 조립 과정에서 모든 접착제와 유기물을 제거했습니다. 그래서 램프 내부는 밀폐되어 있으며, 할로겐 가스가 밖으로 나가지 않습니다.
주의해야 할 사항
이 램프들은 매우 강력하기 때문에, 금 반사체의 효율이 높아 목표 온도가 빠르게 상승합니다. 따라서 PID 컨트롤러를 조절하여 목표 온도를 초과하지 않도록 해야 합니다. 또한 구형 장비에 이 램프를 사용할 경우, 전원 공급 장치를 반드시 확인해야 합니다. 이러한 고출력 램프는 스위치를 켜는 순간 많은 전류를 소모합니다.
사용 방법
이 램프들은 대부분의 고급 청정실 오븐을 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 가장 좋은 점은, 성능이 저하되지 않는다는 것입니다. 그래서 히터가 문제를 일으키지 않으므로 여과 작업도 훨씬 수월해집니다.