초순수 가열 램프

Fab 공정 현장에서 포토레지스트 베이킹은 단순히 최고 온도에 관한 문제가 아니다. 웨이퍼 전체에 걸친 열 균일도가 중요하다. 0.5°C의 온도 편차만으로도 CD 편차가 발생하고 수율이 규격에서 벗어날 수 있다. 당사는 저희 초순수 가열 램프를 설계하여 저항층 전체...