장비가 거대한 히터처럼 작동하는 것을 막아보세요.
대부분의 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 즉, 360도로 에너지가 분산되는 것이죠. 반도체 칩이 작은 공간에 위치해 있을 때 이는 큰 문제가 됩니다.
그렇게 방출된 열 중 상당 부분이 기계의 내부 벽에 부딪히게 되고, 그 결과 ‘뜨거운 벽’이 생깁니다. 이는 기계를 조작하는 사람에게 안전 위험이 될 뿐만 아니라, 극심한 열을 견디지 못하는 전자 부품들에게도 치명적입니다.
열을 정확한 곳으로 보내는 방법
우리는 오존이 없는 적외선 램프와 함께 효과적인 반사판 및 코팅을 사용하여 이 문제를 해결했습니다.
목표는 간단합니다. 공기나 기계의 본체를 가열하는 것을 멈추고, 열을 원하는 위치에 집중시키는 것입니다. 이렇게 하면 훨씬 더 효율적으로 작업할 수 있습니다.
주의해야 할 점은 오존이 없는 석영을 사용해야 한다는 것입니다. 일반적인 단파 램프는 표면에서 오존을 생성할 수 있습니다. 클린룸에서는 이것이 재앙이 될 수 있습니다. 오존은 민감한 폴리머나 반도체 층을 손상시킬 수 있습니다. 오존이 없는 램프를 사용하면 이러한 화학적 위험이 사라집니다.
기계를 시원하고 안전하게 유지하는 방법
방향성을 가진 시스템을 사용하면 기계의 내부가 훨씬 더 시원해집니다.
가장 좋은 점은 냉각 시스템을 과도하게 설계하거나 기계의 외부에 크고 못생긴 방열판을 설치할 필요가 없다는 것입니다. 기계의 외부 온도가 낮아져서 모든 사람의 작업이 편해집니다.
하지만 주의해야 할 점은, 빔을 집중시키면 목표 지점의 열 밀도가 훨씬 높아진다는 것입니다. 전력을 너무 높게 설정하면 웨이퍼에 ‘화상’이 생길 수 있습니다. 따라서 PID 컨트롤러를 조정하여 적절한 강도를 유지해야 합니다.
변경하는 방법
좋은 소식은, 이 램프들이 기존의 적외선 램프를 대체할 수 있도록 설계되었다는 것입니다.
우리는 램프의 크기를 작게 유지하면서도 빔의 각도를 넓게 유지했습니다. 이렇게 하면 에너지 낭비를 줄일 수 있으며, 무엇보다도 비싼 장비가 마치 7월의 열기 속에서 작동하는 라디에이터처럼 되는 것을 막을 수 있습니다.