半導体加熱器に無駄なエネルギーを使わないでください。
もし半導体工場を運営しているなら、その苦労はよくご存知でしょう。正確性が何よりも重要です。しかし、カーボンニュートラルを実現するためには、大きな機械に目を向けがちです。配線のような細かい部分は見過ごされがちです。
問題は、赤外線加熱システムは非常に高温になるということです。そのような環境で通常の配線を使うと、絶縁体が損傷してしまいます。そうなると、エネルギーが不要な場所に漏れ出し、結果として電力の無駄遣いや装置の故障のリスクが生じます。
だからこそ、私たちはPTFE（テフロン）コーティングされた配線を使用するようにしました。
この配線は高温にも耐えられます。
通常の配線——PVCやシリコン製のもの——は、高温になると溶融したり、ガスが発生したりします。しかしPTFEは、260℃まで耐えられます。
これらの加熱器では、配線は石英管からほんの数インチの距離にあるため、極端な高温にさらされます。PTFEは丈夫で、電力の消費を安定させ、短絡の発生を防ぎます。
「グリーン」な側面
私たちは「ウェーハ1枚あたりのエネルギー消費量」を測定します。これが基準となります。しかし、絶縁体が劣化すると、漏電が発生します。これは、お金やエネルギーが無駄になることを意味します。
さらに、クリーンルームは厳しい環境です。至る所に洗浄剤があります。PTFEはこれらの化学物質に反応せず、滑らかな表面のため、汚れが付きにくいです。配線の寿命が長くなるため、数ヶ月ごとに交換する必要もありません。つまり、廃棄物が減り、炭素排出量も少なくなります。簡単ですよね。
設置時の注意点
もちろん、完璧とは言えません。PTFEは硬いのです。シリコンのように柔軟ではありません。狭いスペースに押し込むときは注意が必要です。角に無理やり押し込むと、はんだ接合部に過度な負荷がかかります。十分なスペースを確保し、適切に曲げるようにしましょう。
結論
この配線を高密度の赤外線ランプと組み合わせることが最適です。配線が信頼できれば、システム全体が安定した熱平衡状態になります。加熱器は過負荷になったり、過剰に稼働したりする必要がなくなります。その結果、1シフトあたりの消費電力量が減り、装置も正常に動き続けます。