MEMSセンサーワイホールをより効率的に乾燥させる方法 もし、これまでMEMSセンサーワイホールの処理を経験したことがあるなら、その難しさはご存知でしょう。水を素早く除去する必要がありますが、水滴や熱ストレスによってワイホールが損傷してしまっては元も子もありません。 長年にわたり、対流式オーブンが...

ファブ内での乾燥処理におけるエネルギー監査：なぜ指向性赤外線が有効なのか ファブ内での乾燥処理について話しましょう。正確さが不可欠です。従来の対流加熱方式では、チャンバー全体が温められてしまい、部品周辺の壁や機器も一緒に熱くなってしまいます。まるでパンを焼くためにキッチン全体を温めてしまうようなも...

300mmウェーハの場合、乾燥装置は単なるオプションではありません。これは、ウェーハが出荷される前の最後の加熱工程にあたります。フォトレジストを焼成する際にわずか数度の温度不均一が生じたり、老朽化したランプから粒子が発生したりすると、再現性のあるリソグラフィー処理が不可能になってしまいます。私たち...

200mmウェーハの処理において、1回の湿式処理だけで生産性が損なわれることがあります。洗浄後に残った水分はフォトレジスト上に水痕として現れ、その後の軟質ベイク処理によって重要な寸法制御が不安定になります。これはオペレーターの手動調整では対処できず、シフトを重ねても同じように機能する乾燥モジュール...