MEMSセンサーワイホールをより効率的に乾燥させる方法
もし、これまでMEMSセンサーワイホールの処理を経験したことがあるなら、その難しさはご存知でしょう。水を素早く除去する必要がありますが、水滴や熱ストレスによってワイホールが損傷してしまっては元も子もありません。
長年にわたり、対流式オーブンが一般的に使われてきました。しかし正直、これは非効率的です。数個のワイホールを乾燥させるために、チャンバー全体を加熱しなければならないからです。時間もかかり、コストも高く、また、現在求められている「グリーンファクトリー」の理念にも合致しません。
そこで、私たちは短波長の赤外線ランプを使用するようにしました。空気を加熱する代わりに、直接ワイホールの表面を加熱するのです。
なぜ物理学が重要なのか
私たちは、高いパワー密度を持つ赤外線システムを採用しています。目的は、迅速に温度を上昇させることです。
ポイントは、赤外線がワイホール上の水分子に直接当たることです。空気中に留まったり、機械の枠に浸透したりすることはありません。
これにより、効率的でクリーンな乾燥が実現し、処理時間も大幅に短縮されます。
製品の詳細について
ランプには高純度の石英管が使用されています。半導体製造では、どんな汚染も大問題になりますので、ここでは一切のリスクを冒しません。
ワイホールのサイズや必要な加熱パターンに応じて、ランプのコーティングを調整することができます。これにより、ワイホールの端が焼けることなく、内部のMEMS構造に熱が伝わりやすくなります。
配線についても、標準的な産業用コネクタを使用しています。これらは耐久性が高く、機械が動作している間も緩むことはありません。
**古いラインにこの装置を導入する場合の注意点：**電圧を確認してください。これらの赤外線ランプは多くの電流を消費します。もし電源がその急激な負荷に耐えられなければ、遮断器が作動してしまいます。
利点と欠点
赤外線乾燥は速いですが、同時に強い熱が発生します。そのため、ランプの温度とワイホールの移動速度のバランスを見極める必要があります。もしコンベヤーの速度が1秒でも遅くなると、繊細なセンサーメンブレンが溶けてしまう危険があります。
一括での廃棄を避けるために、リアルタイムの温度計測機能を利用することをお勧めします。これにより、パワーを即座に調整でき、ワイホールが安全であることを確認できます。