ウェーハ製造プロセスにおける炭素排出量の削減：IR加熱の真実 正直に言って、半導体製造装置は莫大なエネルギーを消費します。ウェーハ製造プロセスにおける炭素排出量を見ると、最も多くのエネルギーが無駄になっているのは、加熱に関連する部分です。長年にわたり、私たちは真空チャンバー全体を巨大なオーブンのよ...

MEMSセンサーワイホールをより効率的に乾燥させる方法 もし、これまでMEMSセンサーワイホールの処理を経験したことがあるなら、その難しさはご存知でしょう。水を素早く除去する必要がありますが、水滴や熱ストレスによってワイホールが損傷してしまっては元も子もありません。 長年にわたり、対流式オーブンが...

装置の壁を加熱するのをやめて、センサーを加熱しましょう。 もし水素センサーの製造に携わったことがあるなら、熱分布の問題がどれほど厄介かご存知でしょう。ほとんどの加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。これでは効率が悪く、大量の電力が無駄になります。結果として、半導体製造装置は巨大...

なぜ、私たちはIRセンサーの絶縁性能テストにこだわるのか？ ウェーハの製造においては、そのリスクは非常に高い。わずかな電気的漏れがあっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまうのです。 だからこそ、私たちは「サンプル検査」を行わないのです。数個のセンサーだけをテストして、うまくいくことを願うのでは...