熱の漏れを防ぐ：ウェーハを移動させるためのより良い方法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その大変さがわかるでしょう。ウェーハを移動させている間も、適切な温度を維持し続けるのは非常に難しいのです。本当に頭痛の種です。 多くの人々は従来の対流式ヒーターを使っていますが、それは労力の無駄に...

ファブ内の「ゴースト粒子」を防ぐ方法 クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つためには、単にエアフィルターを交換するだけでは不十分です。半導体製造の現場で働いている人なら、本当の問題が何かわかるでしょう。それは、加熱要素そのものです。 一般的な赤外線ランプは問題を引き起こしやすいです。特に、不...

半導体加熱器に無駄なエネルギーを使わないでください。 もし半導体工場を運営しているなら、その苦労はよくご存知でしょう。正確性が何よりも重要です。しかし、カーボンニュートラルを実現するためには、大きな機械に目を向けがちです。配線のような細かい部分は見過ごされがちです。 問題は、赤外線加熱システムは非...

はじめに 半導体製造の核心となる部分について話しましょう。そこでは、高温が必要であり、しかも迅速に加熱する必要があります。ミスの余地も、停止時間も許されません。 私たちが開発した半導体用加熱ソリューションは、厳しい状況下でも生産ラインを止めないようにすることを念頭に設計されています。この装置は、高...

製造現場では、状況がどれだけ急速に悪化するかわかりません。たとえわずか0.5度程度の温度変動があっても、重要な寸法制御が乱れ、フォトレジストの特性が規格から外れてしまいます。24時間365日稼働するように設定されているラインでは、ヒーターの故障は単に1台の装置を使えなくなるだけでなく、リソグラフィ...