半導体用金コーティング赤外線ランプ
ファブ内の「ゴースト粒子」を防ぐ方法
クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つためには、単にエアフィルターを交換するだけでは不十分です。半導体製造の現場で働いている人なら、本当の問題が何かわかるでしょう。それは、加熱要素そのものです。
一般的な赤外線ランプは問題を引き起こしやすいです。特に、不...
ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ
ワットの無駄遣いをやめよう:なぜ金メッキされたツインチューブが効果的なのか
シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットごとが重要になります。もし通常のクォーツランプを使用している場合、実際にはエネルギーを無駄にしていることになります。そのランプはあらゆる方向に熱を放出するため、消費される電力の多くが...
ゴールド反射板付き赤外線ランプ
クラス100の清浄室での粒子の問題を心配しなくてもよい
クラス100(ISO 5)の環境で作業を行っている場合、粒子による被害の恐ろしさはよくわかるでしょう。ヒーターから出るわずかな破片があっただけで、シリコンウェーハや医療用インプラントの全量が無駄になってしまいます。
一般的なコイルや抵抗線では...