
クラス100の清浄室での粒子の問題を心配しなくてもよい
クラス100(ISO 5)の環境で作業を行っている場合、粒子による被害の恐ろしさはよくわかるでしょう。ヒーターから出るわずかな破片があっただけで、シリコンウェーハや医療用インプラントの全量が無駄になってしまいます。
一般的なコイルや抵抗線では、その高温に耐えられず、ガスが放出されたり、破片が剥がれ落ちたりします。これは常に解決すべき問題です。
私たちは別のアプローチを採用しています。高純度の石英製の赤外線ランプと、金でコーティングされた反射器を使用しています。破片もほこりもなく、悩みもありません。
なぜ金なのか?
多くの人々はアルミニウム製の反射器を使いますが、アルミニウムは酸化してしまいます。時間が経つにつれて、その酸化物が微細なほこりとなり、製品に付着してしまいます。一方、金はそうなりません。金は常に清潔な状態を保ちます。さらに、赤外線を約98%の効率で反射します。つまり、熱が必要な場所に正確に届き、機械の枠全体が温められることはありません。
製造品質
ケースには融解石英を使用しており、大きな熱衝撃にも耐えられます。また、組み立て時にはすべての接着剤や有機物を除去しています。これにより、電球内部のハロゲンガスが漏れ出すことがなく、外部の空気が入ってくることもありません。
注意点
これらのランプは非常に強力です。金製の反射器の効率が高いため、目標温度へ到達する速度が速くなります。そのため、PIDコントローラーを適切に調整する必要があります。また、古い設備にこれらのランプを使用する場合は、電源をしっかり確認してください。これらの高ワット数のランプは、スイッチを入れた瞬間に大量の電流を消費します。
使用方法
これらのランプは、ほとんどの高性能な清浄室用オーブンの代替品として設計されています。最良な点は、劣化しない熱源が得られることです。これにより、加熱器が原因で汚れが発生することがないため、フィルタリング作業が大幅に簡単になります。