ウェーハ加熱時の安全距離

赤外線とホットエア：ウェーハを加熱するためのより良い方法は？ もし今もホットエアを使ってウェーハを加熱しているのであれば、それは単に待つしかない状態です。その理由は以下の通りです。ホットエアは対流によって熱を伝えます。つまり、まず空気を加熱し、その後で空気がウェーハを加熱するのです。これは中間者が...