破片の発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の半導体製造ラインにおいて、IRランプが破損すると大変な問題になります。単に生産が止まるだけでなく、ガラスの破片や金属片がウェーハ上に散らばってしまいます。これは完全な災害です。 そのため、私たちはクリーンルーム用の赤外...

クリーンルーム用ヒーターを正常に動作させ続けるためのポイント クリーンルームで使用されるオーブンの場合、通常のルールは適用されません。ガスや微小な粒子を放出するようなヒーター要素は使えません。その問題を解決するために、私たちは特殊な赤外線ランプを利用しています。でも正直なところ、熱を発生させる部分...