省エネ型ウェーハヒーター

スマートファブで効果的な赤外線加熱を実現するには インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、熱の扱い方を再考する必要があります。従来の抵抗式ヒーターでは不十分です。速度が遅すぎるのです。現代のウェーハ処理においては、即座に熱を供給できる装置が必要です。 だからこそ、私たちは赤外線シス...