真空対応型赤外線ヒーター
なぜ真空中での赤外線加熱が半導体製造に最適なのか
半導体業界では、「無鉛化」や「環境に優しい製造プロセス」が求められています。しかし、依然として従来の対流式オーブンを使っている場合、大きな問題に直面します。そうしたオーブンはエネルギーを大量に消費し、必要のない空気を温めるのに時間を費やしてしまいま...
真空チャンバー用赤外線ヒーター
なぜ、真空赤外線ヒーターにおいて断熱性能が重要なのか
真空環境下で作業を行うと、安全装置が機能しなくなります。通常、空気は自然な断熱材として機能しますが、それがなくなると状況は一変します。そのような環境では、わずかな漏電でも単なる技術的な問題にとどまらず、大規模なアークが発生し、真空シールが破壊さ...