ウエハーツール用温度センサー

ウェーハ製造プロセスにおける炭素排出量の削減：IR加熱の真実 正直に言って、半導体製造装置は莫大なエネルギーを消費します。ウェーハ製造プロセスにおける炭素排出量を見ると、最も多くのエネルギーが無駄になっているのは、加熱に関連する部分です。長年にわたり、私たちは真空チャンバー全体を巨大なオーブンのよ...