ファブ内の「ゴースト粒子」を防ぐ方法 クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つためには、単にエアフィルターを交換するだけでは不十分です。半導体製造の現場で働いている人なら、本当の問題が何かわかるでしょう。それは、加熱要素そのものです。 一般的な赤外線ランプは問題を引き起こしやすいです。特に、不...

ワットの無駄遣いをやめよう：なぜ金メッキされたツインチューブが効果的なのか シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットごとが重要になります。もし通常のクォーツランプを使用している場合、実際にはエネルギーを無駄にしていることになります。そのランプはあらゆる方向に熱を放出するため、消費される電力の多くが...