ウェーハ乾燥モジュール 200mm

200mmウェーハの処理において、1回の湿式処理だけで生産性が損なわれることがあります。洗浄後に残った水分はフォトレジスト上に水痕として現れ、その後の軟質ベイク処理によって重要な寸法制御が不安定になります。これはオペレーターの手動調整では対処できず、シフトを重ねても同じように機能する乾燥モジュール...