ニコンステッパーランプ交換

リソグラフィフロアにおける重要性 ニコンのステッパー用ランプは単なる消耗品ではなく、越えてはいけないラインです。ランプの出力がずれると、ソフトベイクとハードベイクの温度が再現されなくなります。フォトレジストプロファイルが不安定になり、CDの均一性が悪化します。もう一つのランプは必要ありません。午前...