キヤノン リソグラフィーヒーターバルブ

Role リソグラフィ工程では経験が物を言います。ソフトベークでわずか0.5度の変動が露光ラチチュードをずらし、その後のハードベークでラインにスカムが堆積し始めます。焦点を追い、投与量を微調整しても、エッジ配置誤差は熱処理工程に起因します。オーブンは安定し、ホットプレートも安定していますが、ボトル...