装置が巨大なセラミックヒーターのように機能するのを防ぎましょう
ほとんどの赤外線ランプは、熱をあらゆる方向に放出します。つまり、360度全方向にエネルギーが散乱されるのです。半導体チップが小さくて狭い場所に配置されている場合、これは大きな問題となります。
その結果、発生した熱の多くが装置の内壁に当たってしまいます。これにより「熱い壁」ができてしまいます。これは、装置を操作する人にとっても安全上のリスクですが、極端な高温を苦手とする電子部品にとっても悪影響を与えます。
熱を適切な場所に送り込む
私たちは、オゾンを含まない赤外線ランプを使用し、巧妙な反射器やコーティングを組み合わせることでこの問題を解決しました。
目的は簡単です。空気や筐体を加熱しないようにし、直接基板に熱を与えるのです。つまり、熱エネルギーを特定の方向に向けて進めるのです。これにより、より効率的に作業が行えます。
注意点として、オゾンを含まないクォーツを使用する必要があります。一般的な短波ランプでは、表面でオゾンが生成されます。クリーンルームでは、これは大変な問題です。オゾンは敏感なポリマーや半導体層を損傷させる可能性があります。オゾンを含まない管を使用すれば、この化学的なリスクはなくなります。
装置を冷却し、安全に保つ
方向性のあるシステムを使えば、装置の内部の温度は大幅に下がります。
最良の点は、冷却システムを過度に複雑にする必要がなく、また、筐体の壁に巨大で見た目の悪いヒートシンクを取り付ける必要もないということです。装置の外部の温度が手で触れても大丈夫な程度に抑えられるので、誰にとっても便利です。
ただし、ビームを集中させるため、ターゲット地点の熱密度は非常に高くなります。出力を強すぎると、ウェーハに「ホットスポット」ができてしまう可能性があります。そのため、PIDコントローラーを調整して、適切な強度に設定する必要があります。
切り替える方法
良いことに、これらのランプは、既存の赤外線ランプに直接置き換えて使用できるように設計されています。
サイズは小さく、ビームの角度も広いので、無駄なエネルギーの発生を防ぐことができます。そして何よりも、高価な装置がまるで7月の真昼間のラジエーターのようになるのを防げます。