공장 램프용 쿼츠 유리 보호대

Role 공장 현장에서 포토레지스트 베이크의 반복성은 기본 요건이다. 소프트 베이크나 하드 베이크 중 2°C의 온도 편차는 치수 오차 예산을 빠르게 잠식하며, 이는 곧 수율 저하를 의미한다. 웨이퍼가 포토레지스트와 접촉하는 위치에서 열장을 일정하게 유지하기 위해 공장...