웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

적외선과 열공기: 웨이퍼를 가열하는 더 나은 방법은? 만약 여전히 열공기를 사용하여 웨이퍼를 가열하고 있다면, 그건 사실상 시간을 낭비하는 것과 같습니다. 그 이유는 다음과 같습니다. 열공기는 대류를 통해 작동합니다. 즉, 공기를 데우고, 그 공기가 다시 웨이퍼를 데...