구역별 적외선 난방 모듈

생산 현장에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 베이크 온도가 0.2°C만 변해도 포토레지스트의 성능이 규격 범위를 벗어나 버립니다. 기존의 하트플레이트 방식은 웨이퍼 표면의 온도 불균일성을 해결하기 위해 제어 범위를 더욱 엄격하게 설정해야 합니다. 우리는 바로 웨이퍼...