진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터
왜 진공 상태에서의 적외선 가열이 반도체 제조에 적합한 방법인가?
반도체 산업은 “무연” 및 “친환경적인” 생산 방식을 강력히 추구하고 있습니다. 하지만 여전히 구식의 대류식 오븐을 사용한다면 문제가 생길 것입니다. 이러한 오븐들은 에너지를 많이 소비합니다. 심지어...
진공 챔버용 적외선 히터
왜 진공 적외선 히터에서는 절연 성능에 그토록 신경을 쓰는가?
진공 상태에서 작업할 때는 안전장치가 사라집니다. 공기는 일반적으로 자연적인 절연체 역할을 하지만, 공기가 없으면 상황이 달라집니다. 그러한 환경에서는 아주 약간의 누설 전류조차도 단순한 기술적 문제가 아...