웨이퍼 처리 장비용 온도 센서
웨이퍼 제조 공장에서의 탄소 배출 감소: 적외선 가열의 진실
솔직히 말해서, 반도체 제조 장비들은 엄청난 에너지를 소비하는 장치들입니다. 웨이퍼 제조 공장의 탄소 배출량을 살펴보면, 가장 큰 낭비는 바로 열에너지 사용에서 비롯됩니다. 오랫동안 우리는 마치 거대한 오븐...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 센서 웨이퍼를 더 효과적으로 건조하는 방법
만약 여러분이 MEMS 센서 웨이퍼를 다룬 적이 있다면, 그 과정이 얼마나 어려운지 잘 알 것입니다. 물기를 신속하게 제거해야 하지만, 물자국이 남거나 열應력으로 인해 웨이퍼가 손상되는 것은 용납될 수 없습니다.
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수소 센서 제조용 히터
장비의 벽면을 가열하는 것을 그만두고, 센서를 가열하는 데에 에너지를 사용하세요.
수소 센서를 제작해본 적이 있다면, 열 분포 문제가 얼마나 심각한지 잘 알 것입니다. 대부분의 가열 요소들은 에너지를 모든 방향으로 방출하기 때문에 혼란스러운 상황이 발생합니다. 그 결...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
왜 우리는 IR 센서의 절연 테스트에 그토록 집착하는가?
웨이퍼 제조 과정에서는 실수 한 번만으로도 엄청난 손실이 발생할 수 있습니다. 아주 작은 전기 누설이라도 있으면, 그 웨이퍼 전체가 폐기됩니다.
그래서 우리는 단순히 몇 개의 센서만 테스트하는 식의 방식을 사용...