웨이퍼 제조 공장에서의 탄소 배출 감소: 적외선 가열의 진실 솔직히 말해서, 반도체 제조 장비들은 엄청난 에너지를 소비하는 장치들입니다. 웨이퍼 제조 공장의 탄소 배출량을 살펴보면, 가장 큰 낭비는 바로 열에너지 사용에서 비롯됩니다. 오랫동안 우리는 마치 거대한 오븐...

MEMS 센서 웨이퍼를 더 효과적으로 건조하는 방법 만약 여러분이 MEMS 센서 웨이퍼를 다룬 적이 있다면, 그 과정이 얼마나 어려운지 잘 알 것입니다. 물기를 신속하게 제거해야 하지만, 물자국이 남거나 열應력으로 인해 웨이퍼가 손상되는 것은 용납될 수 없습니다. 오...

적외선과 열공기: 웨이퍼를 가열하는 더 나은 방법은? 만약 여전히 열공기를 사용하여 웨이퍼를 가열하고 있다면, 그건 사실상 시간을 낭비하는 것과 같습니다. 그 이유는 다음과 같습니다. 열공기는 대류를 통해 작동합니다. 즉, 공기를 데우고, 그 공기가 다시 웨이퍼를 데...

스마트 팩토리에서 적외선 가열을 제대로 활용하기 산업 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축할 때는 열을 어떻게 처리할지 다시 생각해봐야 합니다. 기존의 저항식 히터들은 그 속도가 너무 느려서 현대적인 웨이퍼 처리에는 부적합합니다. 따라서 즉각적으로 열을 공급할 수 있는...

왜 우리는 IR 센서의 절연 테스트에 그토록 집착하는가? 웨이퍼 제조 과정에서는 실수 한 번만으로도 엄청난 손실이 발생할 수 있습니다. 아주 작은 전기 누설이라도 있으면, 그 웨이퍼 전체가 폐기됩니다. 그래서 우리는 단순히 몇 개의 센서만 테스트하는 식의 방식을 사용...

왜 적외선 경화 방식이 반도체 산업의 표준인가? 솔직히 말해서, 반도체 산업에는 정밀하고 깨끗한 건조 공정이 필요합니다. 그래서 우리는 웨이퍼를 경화시키는 램프용 반사체를 제작합니다. 적외선 경화 방식은 납이 없으며 에너지 효율이 높은 제조 공정으로 자리 잡았습니다....

300mm 웨이퍼 처리 과정에서는 건조기가 단순히 편의적인 장비가 아닙니다. 이건 웨이퍼가 공장을 떠나기 전 마지막 열처리 단계입니다. 포토레지스트를 가열할 때 약간의 온도 불균일성이 생기거나, 노화된 램프에서 입자가 발생하면 반복 가능한 리소그래피 공정이 실패로 이...