에너지 효율적인 웨이퍼 히터

스마트 팩토리에서 적외선 가열을 제대로 활용하기 산업 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축할 때는 열을 어떻게 처리할지 다시 생각해봐야 합니다. 기존의 저항식 히터들은 그 속도가 너무 느려서 현대적인 웨이퍼 처리에는 부적합합니다. 따라서 즉각적으로 열을 공급할 수 있는...