적외선과 열공기: 웨이퍼를 가열하는 더 나은 방법은? 만약 여전히 열공기를 사용하여 웨이퍼를 가열하고 있다면, 그건 사실상 시간을 낭비하는 것과 같습니다. 그 이유는 다음과 같습니다. 열공기는 대류를 통해 작동합니다. 즉, 공기를 데우고, 그 공기가 다시 웨이퍼를 데...

욕실을 따뜻하게 유지하기 (모든 사람의 시력을 해치지 않으면서) 욕실용 조명에 사용되는 난방 소자를 만들 때, 우리는 단순히 방을 따뜻하게 하는 방법만 고려하는 것이 아닙니다. 빛의 성질도 중요하게 고려됩니다. 일반적인 단파 적외선 램프는 마치 스포트라이트와 같습니다...

기다림 없이 습한 공간을 따뜻하게 만들기 수영을 마치고 차가운 탈의실에 들어가본 적이 있다면 그 느낌을 잘 알 것입니다. 정말 끔찍한 경험이죠. 일반적인 히터를 사용해 이 문제를 해결하려 해도 소용이 없습니다. 공기는 열을 잘 유지하지 못하기 때문입니다. 그래서 우리...

생산 현장에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 베이크 온도가 0.2°C만 변해도 포토레지스트의 성능이 규격 범위를 벗어나 버립니다. 기존의 하트플레이트 방식은 웨이퍼 표면의 온도 불균일성을 해결하기 위해 제어 범위를 더욱 엄격하게 설정해야 합니다. 우리는 바로 웨이퍼...

Fab 작업 현장에서 퍼니스 열 변동은 단순히 디스플레이에 표시된 숫자가 아니다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 치수 변화와 도핑 프로파일 이상으로 나타난다. 한 개의 핫존만 어긋나도 포토레지스트 베이크 편차와 필름 스트레스 문제로 수율 손실을 추적해야 하며, 이 현상은 동일한...

Fab 공정 현장에서 포토레지스트 베이킹은 단순히 최고 온도에 관한 문제가 아니다. 웨이퍼 전체에 걸친 열 균일도가 중요하다. 0.5°C의 온도 편차만으로도 CD 편차가 발생하고 수율이 규격에서 벗어날 수 있다. 당사는 저희 초순수 가열 램프를 설계하여 저항층 전체...