웨이퍼 건조 모듈 200mm

200mm 공정에서는 단 한 번의 습식 처리도 제품의 품질을 크게 저하시킬 수 있습니다. 세척 후 남은 물기는 포토레지스트에 워터마크를 남기며, 이로 인해 소프트 베이크 과정에서도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 이러한 문제는 단순히 작업자의 조정만으로는 해결될 수...