Trên dây chuyền sản xuất 300mm, máy sấy không phải là thiết bị có thể bỏ qua được. Đó là công đoạn kiểm soát nhiệt độ cuối cùng trước khi wafer được đưa ra khỏi dây chuyền. Chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ vài độ trong quá trình sấy phim phủ, hoặc do các hạt từ bóng đèn bị lão hóa, thì quy trình in ấn sẽ trở nên vô ích. Chúng tôi thiết kế máy sấy wafer dựa trên một yêu cầu quan trọng: giữ nhiệt độ của wafer ở mức ±0.1°C, đồng thời tránh mọi nguy cơ gây ô nhiễm.
Những yếu tố quan trọng trong hoạt động của máy sấy Chúng tôi sử dụng bộ phát tia hồng ngoại tần số cao để tạo ra hiệu ứng làm nóng nhanh và chính xác, giúp nhiệt độ đạt ngay mức đã được 설정 mà không có sự chậm trễ. Cửa sổ thủy tinh và các bộ phản xạ được thiết kế riêng cho dòng sản xuất 300mm, giúp đảm bảo nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer, từ đó giảm thiểu sự chênh lệch nhiệt độ giữa các vị trí khác nhau trên wafer. Hệ thống này được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch, với các vật liệu và bộ phận đóng kín thuộc loại Class 1–100. Hệ thống này cũng được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động. Hệ thống điều khiển vòng lặp giúp đảm bảo tính nhất quán trong quá trình sản xuất, giúp mỗi wafer đều nhận được cùng mức nhiệt độ, ngày này sang ngày khác.
Tại sao máy sấy lại quan trọng trong quy trình xử lý phim phủ Nhiệt độ sấy ảnh hưởng trực tiếp đến việc loại bỏ chất lỏng, áp suất trên lớp phim phủ, và cuối cùng là việc kiểm soát kích thước của wafer. Máy sấy giúp duy trì nhiệt độ ổn định, từ đó giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm và tăng tỷ lệ thành phẩm. Tốc độ phản ứng nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý, trong khi khối lượng nhiệt thấp giúp tiết kiệm năng lượng. Bạn sẽ nhận được kết quả ổn định ở cùng mức nhiệt độ, với ít sự cố hơn, ít việc bảo trì hơn, và ít sản phẩm lỗi hơn.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Máy sấy này được thiết kế để sử dụng với wafer kích thước 300mm và có thể tích hợp vào môi trường sạch thông thường. Tuy nhiên, các yếu tố cơ học và hệ thống cung cấp năng lượng, làm mát, thoát khí cũng cần được chuẩn bị kỹ lưỡng trong quá trình lắp đặt. Độ ổn định của máy phụ thuộc vào nguồn điện sạch và nhiệt độ nước làm mát ổn định. Vì vậy, quá trình lắp đặt cần bao gồm việc kiểm tra hiệu suất của máy trong thời gian ngắn dưới tải cao. Hãy dành một ngày để lắp đặt và calibrat máy theo quy trình sản xuất của bạn.