Trên dây chuyền sản xuất có kích thước 200mm, chỉ cần một bước xử lý sai lệch cũng có thể làm giảm chất lượng sản phẩm. Nước còn sót lại sau quá trình làm sạch sẽ tạo thành những vết ố trên bề mặt phim ảnh hóa học; đồng thời, quá trình sấy ở nhiệt độ cao cũng khiến cho các thông số kỹ thuật không còn được kiểm soát chính xác nữa. Không thể khắc phục vấn đề này bằng cách điều chỉnh thông số hoạt động của máy móc – điều cần thiết là phải có bộ phận sấy hoạt động ổn định từ lần này sang lần khác.
Điều quan trọng nhất Bộ phận sấy wafer kích thước 200mm của chúng tôi được thiết kế dựa trên nguyên lý kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác và kiểm soát mức độ ô nhiễm. Độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, nhờ đó quá trình sấy vẫn diễn ra ổn định từ lô sản xuất này sang lô khác. Hệ thống này phù hợp với các môi trường sạch từ loại 1 đến 100, và được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, giúp đảm bảo các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về số lượng hạt bụi trong quá trình sản xuất. Trong điều kiện hoạt động 24/7, hệ thống này giúp giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động không mong muốn, với tuổi thọ hàng chục nghìn giờ. Độ lặp lại của quá trình sấy cũng rất cao – đó chính là tiêu chí quan trọng nhất.
Tại sao nó phù hợp với dây chuyền sản xuất Bộ phận sấy này có thể được tích hợp trực tiếp vào quy trình xử lý wafer kích thước 200mm, từ việc sấy sau quá trình làm sạch cho đến các bước xử lý phim ảnh hóa học. Việc kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp giảm thiểu các khuyết tật trên bề mặt phim ảnh hóa học do sự biến đổi nhiệt độ gây ra. Việc sấy ổn định giúp loại bỏ sự biến động không mong muốn, từ đó giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm. Kết quả là: ít sản phẩm bị hỏng hơn, tỷ lệ sử dụng máy móc cao hơn, và các thông số kỹ thuật quan trọng vẫn được duy trì ổn định. Chúng tôi kiểm soát tốt mức tiêu thụ năng lượng mà vẫn đảm bảo độ chính xác của các thông số kỹ thuật, nhờ đó chi phí vận hành vẫn được kiểm soát tốt.
Chi tiết kỹ thuật Việc lắp đặt bộ phận sấy này cần phải phù hợp với các yêu cầu về hệ thống thông gió và giảm rung động của dây chuyền sản xuất. Bộ phận sấy hoạt động tốt khi được kết nối với nguồn điện ổn định. Việc bảo trì định kỳ – như kiểm tra bộ lọc và hiệu chuẩn cảm biến – giúp giảm thiểu sự biến đổi của các thông số kỹ thuật theo thời gian. Cần lên kế hoạch cho việc bảo trì một cách cẩn thận. Dù công việc bảo trì có vẻ đơn giản, nhưng nó lại rất quan trọng.