Mô đun sấy wafer kích thước 200mm
Trên dây chuyền sản xuất có kích thước 200mm, chỉ cần một bước xử lý sai lệch cũng có thể làm giảm chất lượng sản phẩm. Nước còn sót lại sau quá...
Mô đun sưởi ấm bằng tia hồng ngoại theo từng khu vực
Trong quy trình sản xuất, bạn biết rồi đấy: nếu nhiệt độ sấy thay đổi 0,2°C thôi, thì chất lượng bề mặt wafer sẽ giảm sút đáng kể, khiến sản phẩm trở...