Trong quy trình nung phơi hóa chất trên bề mặt wafer, bạn biết đấy, chỉ cần nhiệt độ thay đổi vài độ thôi cũng đã khiến việc kiểm soát kích thước các chi tiết trở nên khó khăn. Các khuyết tật trên bề mặt wafer sẽ xuất hiện, và không ai có thời gian để xử lý chúng. Trong khi đó, các wafer vẫn tiếp tục được xử lý, dẫn đến việc tiêu hao năng lượng quá mức. Chúng tôi đã thiết kế những bóng đèn dùng để nung phơi hóa chất sao cho chúng hoạt động một cách ổn định.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng những bóng đèn halogen sóng ngắn có khả năng phát ánh sáng trong vùng hồng ngoại, giúp truyền năng lượng trực tiếp vào hóa chất phơi. Nhờ đó, việc kiểm soát nhiệt độ diễn ra rất chính xác, và độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C trong phạm vi 300 mm. Hệ thống này hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, và không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào – nhờ vào hệ thống giám sát tích hợp và thiết kế kín, giúp giảm thiểu sự thoát khí. Độ tái lặp lại của quy trình xử lý vẫn ổn định, bất kể số lượng lô sản phẩm hay tuổi thọ của bóng đèn. Trong các dây chuyền sản xuất với công suất cao, hệ thống này có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố nào.
Lý do tại sao phương pháp này hiệu quả trong cả quá trình nung phơi mềm lẫn cứng là vì độ chính xác của nhiệt độ quyết định đến chất lượng hóa chất phơi, khả năng bám dính của nó, cũng như khả năng tẩy rửa bề mặt wafer. Những bóng đèn này giúp rút ngắn thời gian nung phơi, từ đó giảm thiểu các khuyết tật trên bề mặt wafer và duy trì độ rộng của dòng sản phẩm ổn định. Việc tiêu thụ năng lượng cũng giảm đi, vì nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào hóa chất phơi, chứ không phải để làm nóng buồng xử lý. Thời gian bảo trì cũng được kéo dài, vì thiết kế của bóng đèn giúp tránh các điểm nóng và áp lực nhiệt. Kết quả là tỷ lệ sản phẩm thành phẩm cao hơn, số lượng sản phẩm cần sửa chữa ít hơn, và thời gian xử lý cũng có thể được lên kế hoạch một cách chính xác.
Đây là một vài điều cần lưu ý: Những bóng đèn này cần được hoạt động trong môi trường khí sạch, khô, hoặc khí nitơ, để tránh sự hình thành hơi nước bên trong lớp thủy tinh của bóng đèn, đồng thời giữ được độ ổn định của phổ ánh sáng. Chúng có thể được tích hợp với các thiết bị OEM tiêu chuẩn, nhưng việc tích hợp cần phải phù hợp với khối lượng nhiệt của bộ phận xử lý và kích thước của buồng xử lý. Bạn cần điều chỉnh thời gian nung phơi trong quá trình kiểm tra, chỉ đủ để đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ.