Trên sàn sản xuất, tính lặp lại của quá trình nung photoresist là điều bắt buộc phải có. Sự sai lệch 2°C trong quá trình soft bake hoặc hard bake nhanh chóng ảnh hưởng đến ngân sách kích thước quan trọng của bạn—và bạn biết điều đó có nghĩa gì: sản lượng giảm sút. Tấm chắn thủy tinh thạch anh trên đèn trong nhà máy được thiết kế để giữ ổn định trường nhiệt ngay tại điểm wafer tiếp xúc với photoresist.
Điều quan trọng bên trong
Chúng tôi sử dụng thạch anh tinh khiết cao vì nó truyền năng lượng bước sóng ngắn và trung với mức hấp thụ tối thiểu, giúp công suất đèn và sự ổn định quang phổ duy trì ở mức cần thiết. Độ đồng đều nhiệt trên toàn bộ wafer giữ trong ±0.1°C, là cơ sở cho dòng chảy photoresist ổn định và quá trình loại bỏ dung môi sạch sẽ. Vật liệu tương thích trong phòng sạch cấp Class 1–100, thiết kế hạn chế phát sinh hạt bụi về 0 trong quá trình vận hành—do đó lớp photolithography giữ được sạch sẽ. Bạn có độ tin cậy 24/7 mà không gặp thời gian chết ngoài kế hoạch, cùng tuổi thọ dài và công suất ổn định sau hàng nghìn giờ hoạt động.
Lý do phù hợp với cách vận hành lithography
Bạn đang vận hành với ngân sách nhiệt chặt chẽ. Tấm chắn này giữ năng lượng đèn tập trung, loại bỏ các điểm nóng, và đảm bảo các cấu hình soft bake và hard bake có thể lặp lại chính xác. Hiệu quả thể hiện qua việc cải thiện độ chồng lớp, giảm số lượng lô phải làm lại và giảm phế phẩm. Bạn cũng sẽ thấy mức tiêu thụ năng lượng giảm vì đèn hoạt động hiệu quả, và độ bền của tấm chắn giúp giảm số lượng phụ tùng thay thế và thời gian bảo trì.
Những điểm cần lưu ý khi lắp đặt và bảo dưỡng
Việc lắp đặt đòi hỏi căn chỉnh chính xác theo trục đèn và đảm bảo mặt tiếp xúc sạch sẽ với bộ phận giữ. Thao tác phải tuân thủ quy trình phòng sạch; một vết xước nhỏ có thể làm tán xạ ánh sáng và gây ảnh hưởng lâu dài. Phải lựa chọn tấm chắn phù hợp với loại đèn và điện áp—nếu không tương thích sẽ làm thay đổi phổ phát xạ và ảnh hưởng đến độ đồng đều. Thiết lập lịch kiểm tra định kỳ để xác nhận độ truyền qua và tính toàn vẹn của tấm chắn, đặc biệt khi vận hành chu kỳ công suất cao.