Trong quy trình sản xuất, sự biến đổi nhiệt độ không phải là yếu tố có thể bỏ qua được. Sự chênh lệch nhiệt độ 5°C trong quá trình nung keo phơi sáng có thể làm mất kiểm soát độ dày của các lớp vật liệu được sử dụng trong quy trình này. Ngoài ra, sự biến đổi nhiệt độ không đồng đều cũng có thể phá hỏng cấu trúc của các tiết diện điện tử. Chúng tôi đã thiết kế những chiếc đèn halogen riêng cho mục đích này, nhằm loại bỏ những yếu tố gây biến đổi nhiệt độ.
Điều quan trọng thực sự Những chiếc đèn này sử dụng các bóng đèn halogen tia ngắn được đặt bên trong vỏ thủy tinh, giúp việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng và hiệu quả. Tiêu chuẩn quan trọng nhất chính là độ đồng đều về nhiệt độ: chỉ khoảng ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, được đo trực tiếp tại chỗ – chứ không phải thông qua phép suy luận. Khả năng tương thích với môi trường phòng sạch cũng được đảm bảo thông qua việc sử dụng các vật liệu phù hợp với tiêu chuẩn Clase 1–100, các giao diện được niêm phong kỹ lưỡng, và cách thiết kế giúp giảm tối đa việc phát sinh khí. Kết quả là không có sự phát sinh các hạt bụi, do đó tỷ lệ sản phẩm thành công không bị ảnh hưởng bởi sự biến đổi nhiệt độ.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn và sử dụng keo phơi sáng Nhiệt độ chính là yếu tố quyết định các kích thước quan trọng trong quy trình sản xuất. Với độ kiểm soát nhiệt độ ở mức ±0,1°C, quá trình nung keo phơi sáng sẽ diễn ra đúng theo quy trình đã định, và tính lặp lại của quy trình cũng được đảm bảo. Trong quy trình RTP, khả năng gia nhiệt nhanh và độ đồng đều cao giúp bảo vệ các tiết diện điện tử mỏng và các lớp vật liệu mỏng. Kết quả là các giá trị đo được sẽ chính xác hơn, số lần phải làm lại ít hơn, và thời gian thực hiện quy trình cũng ổn định hơn. Hiệu suất cao cũng giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Cần chú ý đến dòng chảy của chất làm mát, cực tính của nguồn điện, và lực siết khi lắp đặt. Đó chính là những yếu tố giúp duy trì độ kín của thiết bị và đảm bảo tính chính xác trong việc căn chỉnh quang học. Chiếc đèn này có thể hoạt động tốt trong các buồng RTP tiêu chuẩn, nhưng hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng cần phải phù hợp với khu vực nung nóng.
Cần lên kế hoạch calibrating lại đèn sau 2.000 giờ sử dụng. Mặc dù sự biến đổi nhiệt độ rất nhỏ, nhưng nó vẫn tồn tại. Chúng tôi đề cập đến điều này và lên lịch để calibrating lại đèn.