ファブの現場では、温度変動は些細な問題ではありません。フォトレジストのソフトベークやハードベーク時に5℃もの温度変動があると、線幅の制御が失われてしまいます。また、RTP時の不均一な温度上昇は、接合部の形状を崩してしまいます。私たちは、このような変動を排除するために、RTP用のハロゲンランプを特別に設計しました。
本当に重要なのは何か これらのランプは、石英製のケース内に短波長のハロゲン発光体を使用しているため、数秒以内で迅速かつ効率的に加熱が行われます。重要なのは温度の均一性です。ウェーハ全体で±0.1℃の精度が求められ、これは実際に測定される値です。クリーンルームとの互換性も考慮されており、クラス1～100に適合した材料を使用し、密閉された構造でガスの漏出を防ぎます。その結果、粒子の発生がなくなり、熱サイクルによって歩留まりが低下することもありません。
なぜこれがリソグラフィーやフォトレジストに重要なのか 温度こそが、製品の寸法を決定する要素です。±0.1℃の精度があれば、ソフトベークやハードベークのプロセスが正確に実行され、ロット間でも再現性が保たれます。RTPでは、急速な温度上昇と高い均一性により、浅い接合部や薄い薄膜が損傷するのを防ぎます。その結果、分布がより均一になり、再作業が減少し、サイクルタイムも安定します。効率性も重要です。放射熱伝達と正確な駆動周波数により、エネルギー消費が抑えられます。
設置時に注意すべき点 冷却剤の流れ、極性、取り付けトルクに注意しましょう。これらが、密封状態を維持し、光学的位置合わせを正確に保つために重要です。このランプは標準的なRTPチャンバーでも使用可能ですが、反射器の形状は対象となる高温領域に合っている必要があります。2,000時間経過後には校正が必要です。出力の変化は小さいですが、実際には存在します。私たちはそれを明記し、適切なタイミングで校正を行います。