クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つには、空気フィルターだけに注目していては不十分です。真の敵というのは、実はヒーター素子なのです。
一般的なIRランプは、このような環境では役に立ちません。その理由は、シール部分に使われている安価な金属や接着剤が、温度変化のたびに剥がれてしまうからです。その結果、微細な破片が生産ライン内に混入してしまいます。
私たちはこれを解決するために、通常使用されているものを高純度の石英管や特殊なセラミック製のエンドキャップに交換しました。
なぜこれが効果的か 実際、ほとんどのIRエミッターが故障するのは、フィラメントが配線に接続されている部分が漏れの原因になっているからです。そこから粒子が漏れ出てしまうのです。
私たちは、その金属製のエンドキャップを高密度のセラミックに置き換えました。なぜかというと、セラミックは「発ガス」しないからです。標準的な合金が酸化して微粒子を放出するような高温でも、セラミックは完全に安定した状態を保ちます。
また、外装としては融着石英を使用しています。これは非常に頑丈で、極端な温度変化にも耐えられます。高温での運転時には、これは大変便利です。さらに、そのセラミック製のエンドキャップによって、密閉された状態が維持され、ハロゲンガスが内部に留まり、作業場が清潔に保たれます。
必要な波長に合わせて、これらのエミッターを調整することも可能ですが、肝心なのはそのセラミック製のインターフェースです。これにより、チューブが取り付け中に動いてしまうことがなくなります。配線を行う際に、反射板やケースが傷つく心配もありません。
正直なデメリット 正直に言うと、高純度の石英やセラミックはもろいものです。純度を保つのには優れていますが、衝撃には弱いのです。
もし技術者が取り付けの際に無理に扱った場合、そのシール部分が割れてしまう可能性があります。正確にランプを配置するためには、精密な治具を使う必要があります。ここでは手を抜くことはできません。
また、これらのエミッターは大量の熱を発生させます。良い点は、セラミック製のエンドキャップが電気的な接触部分を絶縁してくれるため、配線が壊れる心配がないことです。ただし、石英チューブ自体から発生する熱に対応できる冷却ファンが必要です。